静电吸盘控制器是双极可逆电源，特为在真空环境下静电吸盘吸附Wafer的控制应用而设计。通过控制器的两个高压接头分别向静电吸盘中通极性相反的0~500V 吸附高压，同样的，也可以提供极性相反的释放电压。此外，本控制器可以实现对Wafer的穿刺功能，通过穿刺高压接口向静电吸盘提供1000~4000V 的穿刺电压。同时，该控制器可监测Wafer 的吸附/释放状态以及高压穿刺结果。
控制器预留有DB9 接口可以实现与上位机通讯，通过上位机下发指令对控制器的功能进行控制，同时可以监测控制器的运行状态。