干货丨芯片制造中的必备要素——真空
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2024-10-30
真空在半导体制造中非常重要,在半导体工业中,真空环境被用于各种制程,包括物理气相沉积 (Physical Vapor Deposition, PVD)、化学气相沉积 (Chemical Vapor Deposition, CVD)、原子层沉积 (Atomic Layer Deposition, ALD)、离子注入 (Ion Implantation)、等离子刻蚀 (Plasma Etching) 等等。那么今天就来介绍一下真空这个常见却让人一知半解的概念。