半导体、平板显示、光纤对准
重载垂向定位台采用创新楔形机构的设计思想,具有紧凑扁平的轮廓尺寸,通过高刚度导柱和高精度丝杠结构,使得平台具有非常高的定位精度、重复定位精度和大负载能力。
*接口尺寸数据来源于MZH400,且垂向处于中间位。
技术指标 |
单位 |
MZH400-25 |
行程 |
mm |
25 |
最大速度 |
mm/s |
20 |
加速度 |
mm/s² |
50 |
精度 |
μm |
±1 |
双向重复精度 |
μm |
±0.5 |
直线度 |
μm |
±3 |
俯仰 |
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100µrad(21arcsec) |
横滚 |
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100µrad(21arcsec) |
偏摆 |
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100µrad(21arcsec) |
正交性 |
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100µrad(21arcsec) |
机械特征 |
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驱动负载(无负载) |
Kg |
23 |
最大负载 |
Kg |
50 |
平台质量 |
Kg |
44 |
外观尺寸 |
mm×mm×mm |
574.4×392.4×202 |
平台材料 |
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航空铝,黑色阳极氧化 |
在MZH400系列产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器等选项。
表1行程选项 |
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-10 |
10mm行程位移平台,配置伺服电机和限位 |
-20 |
20mm行程位移平台,配置伺服电机和限位 |
-30 |
30mm行程位移平台,配置伺服电机和限位 |
表2编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器,1Vpp |
-S2 |
增量式数字光学式线性编码器,RS422 |
-S3 |
绝对式光学式线性编码器,BISS |