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MZH400重载垂向位移台
MZH400重载垂向位移台
MZH400重载垂向位移台
主要特点

  • 高刚性、高精度导柱设计
  • 高精密丝杆导向设计  
  • 负载大、抗偏心能力高
  • 全闭环伺服设计

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主要应用

半导体、平板显示、光纤对准

 

性能简介

重载垂向定位台采用创新楔形机构的设计思想,具有紧凑扁平的轮廓尺寸,通过高刚度导柱和高精度丝杠结构,使得平台具有非常高的定位精度、重复定位精度和大负载能力。

机械尺寸图

*接口尺寸数据来源于MZH400,且垂向处于中间位。

技术参数
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技术指标

单位

MZH400-25

行程

mm

25

最大速度

mm/s

20

加速度

mm/s²

50

精度

μm

±1

双向重复精度

μm

±0.5

直线度

μm

±3

俯仰

 

100µrad(21arcsec)

横滚

 

100µrad(21arcsec)

偏摆

 

100µrad(21arcsec)

正交性

 

100µrad(21arcsec)

机械特征

 

 

驱动负载(无负载)

Kg

23

最大负载

Kg

50

平台质量

Kg

44

外观尺寸

mm×mm×mm

574.4×392.4×202

平台材料

 

航空铝,黑色阳极氧化

定制信息

在MZH400系列产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器等选项。

表1行程选项

-10

10mm行程位移平台,配置伺服电机和限位

-20

20mm行程位移平台,配置伺服电机和限位

-30

30mm行程位移平台,配置伺服电机和限位

表2编码器选项

-S1

增量式模拟光学式线性编码器,1Vpp

-S2

增量式数字光学式线性编码器,RS422

-S3

绝对式光学式线性编码器,BISS

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