PMIN系列惯性电机是基于粘滑式驱动逻辑的一种直线运动定位装置，可以达到毫米级的运动行程和纳米级的定位精度，具有体积小、刚度高和快速定位等优势，电机内部集成高精度闭环传感器，非常适合用于纳米微位移控制系统。
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|
单位 |
公差 |
PMIN-C24-20A |
PMIN-C24-30A-SS |
PMIN-C24-30A-AL |
PMIN-C24-50A-SS |
PMIN-C24-50A-AL |
PMIN-C24-110A |
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运动轴 |
|
|
X |
X |
X |
X |
X |
X |
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运动和定位 |
||||||||
|
运动行程 |
mm |
|
20 |
30 (非对称) |
30（非对称） |
50 |
50 |
110 |
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传感器 |
|
|
线性光栅尺 |
线性光栅尺 |
线性光栅尺 |
线性光栅尺 |
线性光栅尺 |
线性光栅尺 |
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开环分辨率 |
nm |
|
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
传感器分辨率 |
nm |
|
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
|
传感器信号 |
|
|
AqB |
AqB |
AqB |
AqB |
AqB |
AqB |
|
最小位移 |
nm |
典型值 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
|
单向重复精度 |
nm |
典型值 |
500 |
500 |
500 |
500 |
500 |
500 |
|
双向重复精度 |
nm |
典型值 |
800 |
1000 |
1000 |
800 |
800 |
800 |
|
俯仰 |
arcsec |
典型值 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
|
偏摆 |
arcsec |
典型值 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
|
闭环运动速度* |
mm/s |
最大值 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
|
机械特性 |
||||||||
|
最大垂向负载 |
N |
最大值 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
|
导轨类型 |
|
|
交叉滚柱导轨 |
交叉滚柱导轨 |
交叉滚柱导轨 |
交叉滚柱导轨 |
交叉滚柱导轨 |
交叉滚柱导轨 |
|
驱动力 |
N |
典型值 |
＞1.5 |
＞1.5 |
＞1.2 |
＞1.5 |
＞1.2 |
＞1.0 |
|
保持力 |
N |
最小值 |
＞2.0 |
＞2.0 |
＞2.0 |
＞2.0 |
＞2.0 |
＞1.5 |
|
驱动特性 |
||||||||
|
工作电压 |
V |
|
0~70 |
0~70 |
0~70 |
0~70 |
0~70 |
0~70 |
|
其他 |
||||||||
|
工作温度范围 |
°C |
|
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
|
材料 |
|
|
不锈钢 |
不锈钢 |
铝合金，不锈钢 |
不锈钢 |
铝合金，不锈钢 |
不锈钢 |
|
电缆长度 |
m |
±0.02m |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
|
电机接口 |
|
|
Sub-D15 公头 |
Sub-D15 公头 |
Sub-D15 公头 |
Sub-D15 公头 |
Sub-D15 公头 |
Sub-D15 公头 |
|
外观尺寸 |
||||||||
|
A |
mm |
|
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
|
B |
mm |
|
11.5 |
11.5 |
11.5 |
11.5 |
11.5 |
11.5 |
|
L |
mm |
|
45 |
45 |
45 |
75 |
75 |
180 |
* 实际运动速度取决于驱控电路功率
