晶圆工艺控制应用，例如光学关键尺寸检查和薄膜计量晶圆划线、清洁和切割晶圆激光热处理光刻后段
磁浮集成式ZT台采用创新性的双轴耦合设计理念，具有非常紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现垂向轴与旋转轴2自由度的高精度、高刚度运动。
旋转轴可无限制旋转，垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术，降低了垂向电机的载荷，很大程度提高了垂向运动性能和寿命。
该磁浮集成式ZT台也可集成在YG(隐冠)的XY台之上，实现模块化搭配组装。
*接口尺寸数据来源于MZT90,且垂向处于中间位。
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技术指标 |
单位 |
MZT90-10 |
MZT90-20 |
MZT90-25 |
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轴 |
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Z |
T |
Z |
T |
Z |
T |
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行程 |
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10 mm |
360°,Infinite |
20 mm |
360°,Infinite |
25 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
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100 mm/s |
900°/s |
100 mm/s |
900°/s |
100 mm/s |
900°/s |
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加速度 |
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2 m/s² |
6280°/s² |
2 m/s² |
6280°/s² |
2 m/s² |
6280°/s² |
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精度 |
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±0.6μm/1mm |
±3 arcsec |
±0.6μm/1mm |
±3 arcsec |
±0.6μm/1mm |
±3 arcsec |
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双向重复精度 |
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±0.3μm/1mm |
±2 arcsec |
±0.3μm/1mm |
±2 arcsec |
±0.3μm/1mm |
±2 arcsec |
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位置稳定性（3σ） |
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±15 nm* |
±0.2 arcsec |
±15 nm* |
±0.2 arcsec |
±15 nm* |
±0.2 arcsec |
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直线度 |
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2 μm |
NA |
2 μm |
NA |
2 μm |
NA |
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轴向跳动 |
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NA |
±2 μm |
NA |
±2 μm |
NA |
±2 μm |
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径向跳动 |
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NA |
±2 μm |
NA |
±2 μm |
NA |
±2 μm |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
Kg |
8.2 |
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转动惯量 |
Kg•m² |
0.00336 |
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最大负载 |
Kg |
2（可定制） |
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平台质量 |
Kg |
9.1 |
9.1 |
12.3 |
12.3 |
12.3 |
12.3 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
409×306.7×73.5 （不带负载） |
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平台材料 |
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航空铝 |
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在MZT90 系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器等选项。
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表1编码器选项 |
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-S1 |
标准款，Renishaw编码器 |
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-S2 |
高端款，Heidenhain编码器 |
