单片型压电陶瓷致动器内部有很多陶瓷层及电极层，相互交叉叠堆，外部两侧印刷电极，将内部电极引出。通过精密打磨工艺，使每片压电陶瓷的高度公差优于±5μm。公司实现了从压电陶瓷粉料到致动器成品的全流通贯通，已实行批量化生产。目前产品已经在纳米级定位、精密制造、点胶阀领域中应用。
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单位 |
公差 |
PAA-S73-2W |
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运动轴 |
Z |
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最大位移 |
μm |
±15% |
3.0 |
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迟滞 |
<15% |
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负载 |
N |
最大值 |
720 |
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阻滞力（150V） |
N |
最大值 |
1800 |
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电气性能 |
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驱动电压 |
V |
-20~150 |
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谐振频率 |
kHz |
±15% |
177 |
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谐振阻抗 |
mΩ |
±15% |
200 |
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反谐振频率 |
kHz |
±15% |
195 |
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介电损耗 |
<2.0% |
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电容 |
nF |
±15% |
520 |
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其他 |
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工作温度范围 |
°C |
-25~130 |
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电极 |
银 |
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电缆长度 |
mm |
±5mm |
75 |
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居里温度 |
°C |
230 |
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外观尺寸 |
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Φ |
mm |
±0.1mm |
3 |
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A |
mm |
±0.1mm |
7 |
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B |
mm |
±0.1mm |
7 |
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L |
mm |
±0.1mm |
2 |
