预压致动器是一种压电陶瓷叠堆的铠装设备，起到保护叠堆和方便安装的作用，同时预压致动器内部对压电陶瓷施加了预压力，可提供一定的拉力和对位移输出的调节。预压致动器可内部集成应变片实现闭环控制。
默认输出端为球头，可定制其他输出端结构。
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单位 |
公差 |
PAPL-A5-36N |
PAPL-A5-45N |
PAPL-A5-60N |
PAPL-A5-90N |
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行程@150V* |
μm |
±20% |
40 |
50 |
65 |
100 |
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电容** |
μF |
±20% |
3 |
3.8 |
5 |
7.5 |
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开环分辨率 |
nm |
典型值 |
0.36 |
0.45 |
0.6 |
0.9 |
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集成传感器 |
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/ |
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
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闭环分辨率*** |
nm |
典型值 |
0.72 |
0.9 |
1.2 |
1.8 |
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谐振频率 |
kHz |
±20% |
12 |
10 |
7 |
4 |
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刚度 |
N/μm |
±20% |
20 |
17 |
12 |
8 |
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推力**** |
N |
最大值 |
850 |
850 |
850 |
850 |
|
拉力 |
N |
最大值 |
150 |
150 |
150 |
150 |
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工作电压 |
V |
/ |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
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工作温度范围 |
°C |
/ |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
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电压接口 |
/ |
LEMO FFA.00.250 |
||||
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传感器接口 |
/ |
LEMO FFA.0S.304 |
||||
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线长 |
m |
0.50% |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
| * 空载下位移输出 |
| ** 电容测试条件：常温环境，1Vpp，1kHz |
| *** 闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器 |
| **** 推力测试：驱动电压0~150V |
| 其他规格可根据客户需求进行定制 |
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PAPL系列A5型压电预压致动器，开环版本 |
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型号 |
说明 |
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PAPL-A5-36N |
A5型压电预压致动器，有效行程40μm，开环 |
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PAPL-A5-45N |
A5型压电预压致动器，有效行程50μm，开环 |
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PAPL-A5-60N |
A5型压电预压致动器，有效行程65μm，开环 |
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PAPL-A5-90N |
A5型压电预压致动器，有效行程100μm，开环 |
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PAPL系列A5型压电预压致动器，应变片闭环版本 |
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型号 |
说明 |
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PAPL-A5-36S |
A5型压电预压致动器，有效行程40μm，应变片闭环 |
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PAPL-A5-45S |
A5型压电预压致动器，有效行程50μm，应变片闭环 |
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PAPL-A5-60S |
A5型压电预压致动器，有效行程65μm，应变片闭环 |
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PAPL-A5-90S |
A5型压电预压致动器，有效行程100μm，应变片闭环 |
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PAPL系列A5型压电预压致动器，开环、真空兼容版本 |
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型号 |
说明 |
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PAPL-A5-36NU |
A5型压电预压致动器，有效行程40μm，开环，真空兼容至10⁻⁵Pa |
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PAPL-A5-45NU |
A5型压电预压致动器，有效行程50μm，开环，真空兼容至10⁻⁵Pa |
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PAPL-A5-60NU |
A5型压电预压致动器，有效行程65μm，开环，真空兼容至10⁻⁵Pa |
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PAPL-A5-90NU |
A5型压电预压致动器，有效行程100μm，开环，真空兼容至10⁻⁵Pa |
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PAPL系列A5型压电预压致动器，应变片闭环、真空兼容版本 |
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型号 |
说明 |
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PAPL-A5-36SU |
A5型压电预压致动器，有效行程40μm，应变片闭环，真空兼容至10⁻⁵Pa |
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PAPL-A5-45SU |
A5型压电预压致动器，有效行程50μm，应变片闭环，真空兼容至10⁻⁵Pa |
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PAPL-A5-60SU |
A5型压电预压致动器，有效行程65μm，应变片闭环，真空兼容至10⁻⁵Pa |
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PAPL-A5-90SU |
A5型压电预压致动器，有效行程100μm，应变片闭环，真空兼容至10⁻⁵Pa |
