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B7系列压电预压致动器
B7系列压电预压致动器
B7系列压电预压致动器
主要特点

  • 2000N推力
  • 10亿次使用寿命的压电陶瓷
  • 亚纳米级分辨率
  • 结构简单,体积小巧 
  • 适用10⁻⁵Pa及以下高真空环境
  • 螺孔接口,可选配平面端头和球形端头    

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主要应用
  • 静态和动态精密定位
  • 激光调谐
性能简介

预压致动器是一种压电陶瓷叠堆的铠装设备,起到保护叠堆和方便安装的作用,同时预压致动器内部对压电陶瓷施加了预压力,可提供一定的拉力和对位移输出的调节。预压致动器可内部集成应变片实现闭环控制。

机械尺寸图

默认输出端为外螺纹,可定制其他输出端结构。

技术参数
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单位

公差

PAPL-B7-18N

PAPL-B7-36N

PAPL-B7-54N

PAPL-B7-60N

PAPL-B7-90N

PAPL-B7-108N

行程@150V*

μm

±20%

18

36

54

72

90

108

电容**

μF

±20%

3

6

9

12

15

18

开环分辨率

nm

典型值

0.18

0.36

0.54

0.72

0.9

1.08

集成传感器

 

 

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

SGS

闭环分辨率

nm

典型值

0.36

0.72

1.08

1.44

1.8

2.16

谐振频率

kHz

±20%

22

17.5

15

13

11

10

刚度

N/μm

±20%

225

107

75

57

44

38

推力****

N

最大值

2000

2000

2000

2000

2000

2000

拉力

N

最大值

300

300

300

300

300

300

工作电压

V

 

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

工作温度范围

°C

 

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

电压接口

   

LEMO FFA.00.250

传感器接口

   

LEMO FFA.0S.304

线长

m

±0.02m

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

 

* 空载下位移输出
** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz
*** 闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器
**** 推力测试:驱动电压0~150V
其他规格可根据客户需求进行定制
定制信息

PAPL系列B7型压电预压致动器,开环版本

型号

说明

PAPL-B7-18N

B7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环

PAPL-B7-36N

B7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环

PAPL-B7-54N

B7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环

PAPL-B7-60N

B7型压电预压致动器,有效行程60μm,开环

PAPL-B7-90N

B7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环

PAPL-B7-108N

B7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环

 

PAPL系列B7型压电预压致动器,应变片闭环版本

型号

说明

PAPL-B7-18S

B7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环

PAPL-B7-36S

B7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环

PAPL-B7-54S

B7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环

PAPL-B7-60S

B7型压电预压致动器,有效行程60μm,应变片闭环

PAPL-B7-90S

B7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环

PAPL-B7-108S

B7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环

 

PAPL系列B7型压电预压致动器,开环、真空兼容版本

型号

说明

PAPL-B7-18NU

B7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-36NU

B7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-54NU

B7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-60NU

B7型压电预压致动器,有效行程72μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-90NU

B7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-108NU

B7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

 

PAPL系列B7型压电预压致动器,应变片闭环、真空兼容版本

型号

说明

PAPL-B7-18SU

B7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-36SU

B7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-54SU

B7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-60SU

B7型压电预压致动器,有效行程72μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-90SU

B7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-B7-108SU

B7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

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