晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等
堆叠式三维直线位移台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZM200-10标准模组集成在十字平台L2S125模组之上，能实现X、Y和Z轴3自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，MZM200-10标准模组采用了大行程磁浮重力补偿技术，具有降低垂向电机的载荷，很大程度地提高了垂向运动性能和寿命的功能，可实现高精度上下方向定位的升降。十字平台L2S125模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于L3S190，且垂向处于行程最高位。
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技术指标 |
单位 |
L3S190-350 |
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轴 |
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X |
Y |
Z |
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行程 |
mm |
350 |
350 |
9(可定制) |
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最大速度 |
m/s |
0.6 |
0.6 |
0.1 |
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加速度 |
m/s² |
5 |
5 |
2 |
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精度_校准前 |
μm |
±20 |
±20 |
- |
|
精度_校准后 |
μm |
±2 |
±2 |
±0.5 |
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双向重复精度 |
μm |
±1 |
±1 |
±1μm |
|
直线度 |
μm |
±10 |
±10 |
- |
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俯仰 |
arcsec |
±75 |
±50 |
±50 |
|
横滚 |
|
- |
- |
±50 |
|
偏摆 |
|
±75 |
±75 |
- |
|
正交性 |
μm |
5 |
5 |
- |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
Kg |
14.2 |
27.5 |
6.7 |
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最大负载 |
Kg |
5 |
5 |
5 |
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平台质量 |
Kg |
40 |
40 |
40 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
734×600×187（垂向处行程最高位） |
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在整个产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、高精度标定和控制系统等选项。
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表1编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器 |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器 |
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表2导轨选项 |
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-Gl |
高刚度机械导轨 |
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-G2 |
高性能气浮导轨 |
