晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火
堆叠式四轴精密位移台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZT90标准模组集成在交叉十字平台L2S125模组之上，能实现X、Y、Z和T轴4自由度的高精度、高刚度运动。其中MZT90采用创新性的双轴耦合设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现Z/T轴2自由度的高精度、高刚度运动。交叉十字平台L2S125模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y 轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于L4S210，且行程处于中间位。
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技术指标 |
单位 |
L4S210-350 |
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轴 |
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X |
Y |
Z |
T |
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行程 |
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350 mm |
350 mm |
10 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
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1 m/s |
1 m/s |
0.1 m/s |
900°/s |
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加速度 |
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10 m/s² |
10 m/s² |
2 m/s² |
6280°/s² |
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精度_校准前 |
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±10 μm |
±10 μm |
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精度_校准后 |
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±1 μm |
±1 μm |
0.03 μm |
±3 arcsec |
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双向重复精度 |
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±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.2 μm |
±2 arcsec |
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位置稳定性（3σ） |
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±2 nm* |
±2 nm* |
±15 nm* |
±0.072 arcsec |
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直线度 |
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±2 μm over range |
±2 μm over range |
1μm |
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俯仰 |
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±5 arcsec |
±5 arcsec |
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横滚 |
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±5 arcsec |
±5 arcsec |
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偏摆 |
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±10 arcsec |
±10 arcsec |
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正交性 |
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±15 arcsec |
±15 arcsec |
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轴跳&径跳 |
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NA |
NA |
NA |
±2 μm |
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机械特征 |
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驱动负载 （无负载） |
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27 Kg |
45 Kg |
7 Kg |
0.00336 Kg.m^2 |
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最大负载 |
Kg |
2（可定制） |
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平台质量 |
Kg |
40（铝合金材料） |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
752×606×209.1（行程处于中间位） |
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*测试数据来源于采用8μm pitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
在L4S210-350产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、导轨和控制系统等选项。 X轴底座可根据客户需求，改为大理石底座，可提供更高的定位精度。
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表 1编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，TTL |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
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表 1 垂向导轨选项 |
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-Gl |
高精度气浮导轨，垂向机械行程 6mm |
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-G2 |
高精度交叉滚子导轨，垂向机械行程24mm |
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-G3 |
高精度防蠕变交叉滚子导轨，垂向机械行程13mm |
